壓力傳感器有一些初始誤差,包括偏移誤差、靈敏度誤差、線性誤差、滯后誤差等,這是不可避免的,具體如下:
1、偏移誤差:壓力傳感器在壓力范圍內(nèi)保持一定的垂直偏移,因此變換器的擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化。
2、靈敏度誤差:誤差大小與壓力成正比。若設(shè)備的靈敏度高于典型值,則靈敏度誤差為壓力增大函數(shù)。當(dāng)靈敏度低于典型值時(shí),靈敏度誤差是壓力減小函數(shù)。造成這一誤差的原因在于擴(kuò)散過(guò)程的改變。
3、線性誤差:這是對(duì)壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,其原因是硅片的物理非線性,但是對(duì)于帶放大器的傳感器,也應(yīng)該包括放大器的非線性。線性誤差曲線可以是凹形曲線,也可以是凸形曲線的稱重傳感器。
4、滯后誤差:在許多情況下,壓力傳感器的滯后誤差完全可以忽略。由于硅片具有較高的機(jī)械剛度。一般而言,只要在壓力變化較大時(shí)考慮滯后誤差。
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