傳感器的制造工藝主要有這四種分類：陶瓷型、厚膜型、集成型和薄膜型，具體如下：
1、陶瓷型
這種制造工藝是傳統(tǒng)材料的應(yīng)用，所用陶瓷材料是精細(xì)陶瓷，也被稱為高科技陶瓷。主要是依靠標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或變種的溶膠工藝，完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后，將成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。
2、厚膜型
厚膜型和薄膜型是相對應(yīng)，是在基片上形成膜來進(jìn)行制造，兩者的區(qū)別是厚膜型傳感器是在陶瓷制造的基片上用敏感材料的漿料進(jìn)行涂覆，而厚膜型的制造材料多是氧化鋁，涂層形成后進(jìn)行熱處理，這樣厚膜即可成型。
3、集成型
這種生產(chǎn)工藝和生產(chǎn)標(biāo)準(zhǔn)硅基半導(dǎo)體集成電路工藝是基本相同的。傳感器通過集成方式進(jìn)行制造后，可以獲得更小的體積并集成更多的功能，部分集成傳感器可以擁有一部分處理功能，來處理被測量信號。
4、薄膜型
薄膜型制造涉及到納米等先進(jìn)技術(shù)，齊制作方法是在介質(zhì)襯底也就是基板上用敏感材料形成一層薄膜，在制作時也可以復(fù)合一些電路系統(tǒng)，這需要使用到混合工藝。
以上就是傳感器制造工藝的介紹。
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